鋁鈧靶主要用于半導(dǎo)體行業(yè)集成電路和微型電機(jī)器件鍍膜。
| 元素符號(hào) | : | AlSc |
| 合金成分 | : | Al 9.6at%Sc; Al 20at%Sc; Al 30at%Sc 其它成分可定制 |
| 純度 | : | 3N5+ |
| 形狀 | : | 平面靶 |
| 外觀 | : | 銀白色、灰色，隨合金成分不同而變化 |
| 典型密度 | : | >2.92g/cm3 |
| 常規(guī)尺寸 | : | Φ332mm 其它尺寸可定制 |
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